Das ultrahochreine Swagelok ALD7-Ventil
ALD7 - das ultrahochreine Ventil aus dem Hause Swagelok
Das neue Ventil von Swagelok überzeugt mit thermischer Stabilität bei hohen Temperaturen, schnelle Reaktionszeit und besserer Korrosionsbeständigkeit. Dies über eine sehr lange Zyklusdauer und zuverlässiger Leistung.
Technische Daten
| Arbeitsdruck | Vakuum bis 10,0 bar (145 psig) |
| Berstdruck | >220 bar (3200 psig) |
| Steuerdruck | 4,1 bis 8,27 bar (60 bis 120 psig) |
| Temperaturbereich | Ventilkörper von 0°C (32°F) bis 200°C (392°F) Steuerkopf von 0°C (32°F) bis 150°C (302°F) |
| Durchflusskoeffizient | 0,7 Cv |
| Körperwerkstoffe | Edelstahl 316L VIM-VAR |
| Membranwerkstoff | Super-Legierung auf Kobaltbasis |
| Endanschlüsse | |
| Typ | VCR® Fittings Rohrstumpfschweißenden Modulare Flächenmontage mit C-Dichtung (1,5 Zoll) mit hohem Durchfluss |
Weitere Informationen über das ALD7-Ventil finden Sie hier.
Erfahren Sie auch, wie Sie Herausforderungen in der Halbleiterherstellung mittels Atomlagenabscheidung erfolgreich meistern, oder wie mithilfe des richtigen Ventils, genauere und konsistentere ALD-Prozesse erreicht werden.
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